温度特性三坐标丈量机是一种高精度的计量设备，为了保持其继续的高精度，需求针对安装环境的温度进行补偿，这一起，丈量机各部件温度特性也是一项重要目标。三坐标丈量机通常会常用的几种材质，包括：花岗岩、铝合金、陶瓷、钢等。
高精度丈量影响三坐标精度硬件有：导轨（X/Y/Z轴）、轴承和电机驱动（气浮轴承和马达）、长度丈量体系（光栅尺及读数头号）、传感器（探头）三坐标丈量机选用梯形横梁及下燕尾结构（获得专利），确保刚性前提下，有用减轻结构分量，进步运动性能并实现中心传动，减小阿贝差错，进步精度。
工艺性及经济性桥式三坐标丈量仪还有比较大的逆向工程的工作能力，也是一种比较理性的数字化的运用东西。由于丈量机的精度更高，有助于进行工件评价，还因为扫描能够提供比其它丈量机的单点丈量更详细的几何形状、形式和尺寸信息。
再有丈量机还能够与触摸式和非触摸式扫描测头进行组合，如果与丈量软件相结合运用，还能够具有比较强壮的扫描的功能，能够完成一些比较复杂的工件与模型的复制，而其实直接的进入程序，在这种情况下会使出产效率得到进步。
